机械规格
型号ant95-25-l-zplus
ant95-50-l-zplus
ant130-035-l-zplus
ant130-060-l-zplus
行程25 mm 50 mm 35 mm 60 mm
精度±300 nm ±300 nm ±300 nm ±300 nm
机械规格
型号ant95-3-v ant95-3-v-plus ant130-5-v ant130-5-v-plus
行程 3 mm 3 mm 5 mm 5 mm
精度±2 μm ±200 nm ±2 μm ±200 nm
aerotech 的 ant 系列平台是全球首款具有多种行程的纳米级定位系统。ant95-3-v 和 ant130-5-v 是由线性电机驱动的楔型垂直举
升平台。这些平台可与 ant 系列中的其它平台无缝集成，能够实现卓越的多轴性能。这些平台可提供两种精度等级。
aerotech纳米级定位系统说明:aerotech设计和制造高性能的运动控制和定位系统。用户覆盖世界各地的工业，政府，科学和研究机构。aerotech精密的运动控制产品（motion control products）成功应用于医疗设备和
生命科学，半导体和平板显示，军事/航空宇宙，电子制造和测试，汽车等行业。
ant95-l系列纳米平移台1.实现大行程纳米定位
2.高分辨率（1纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（250纳米）
3.1纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性
ant95-20a5-04d, ant95-10a5-04d,
ant95-20a5-08d, ant95-10a5-08d,
ant95-20a5-12d, ant95-10a5-12d,
ant95－20a5－04d
小步进。

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